香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种药液槽装置及半导体湿法台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181097U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521306083.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种药液槽装置及半导体湿法台是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种药液槽装置及半导体湿法台在说明书摘要公布了：本申请公开了一种药液槽装置及半导体湿法台，其中药液槽装置包括药液槽体以及加热组件；药液槽体内设有药液腔；加热组件包括导热管以及加热器；导热管设置在药液腔底部，且一端贯穿药液腔的第一侧壁，另一端贯穿药液腔的第二侧壁；加热器安装于导热管中。这种设计减少了热传递路径，提高了导热加热效率以便于更加精确地控制药液温度。而且，由于加热组件直接设置于药液槽体内，无需额外的加热腔室，从而节省了空间，使得整个系统更为紧凑，为小型化设计提供便宜。
本实用新型一种药液槽装置及半导体湿法台在权利要求书中公布了：1.一种药液槽装置，其特征在于，包括药液槽体（1）以及加热组件（2）； 所述药液槽体（1）内设有药液腔（11）； 所述加热组件（2）包括导热管（21）以及加热器（22）； 所述导热管（21）设置在所述药液腔（11）底部，且一端贯穿所述药液腔（11）的第一侧壁（12），另一端贯穿所述药液腔（11）的第二侧壁（13）； 所述加热器（22）安装于所述导热管（21）中。
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