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龙图腾网获悉苏州苏优信立智能科技有限公司申请的专利一种晶圆加工系统以及晶圆加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120261358B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510738714.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆加工系统以及晶圆加工方法是由王洋洋;谢世武;武永康设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工系统以及晶圆加工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆加工系统以及晶圆加工方法，晶圆加工系统包括晶圆存储单元、字符识别设备以及在晶圆存储单元与字符识别设备之间搬运晶圆盒的第二搬运装置，字符识别设备包括用于放置晶圆盒的上下料平台、对晶圆的缺口进行校准的校准单元、对晶圆的字符进行识别的OCR识别单元以及搬运晶圆的第一搬运装置，第一搬运装置上设置有用于感知晶圆盒内每一层容置槽上是否放置有晶圆的感知检测件；第二搬运装置上设置有识别晶圆盒位置的第一相机。本发明能够实现智能无人化加工，能够提高晶圆的生产效率，还能够提高晶圆的加工质量，各个搬运装置能够自动识别物料，而且搬运装置上搭载有防撞系统，进而能够保证物料搬运的稳定性。

本发明授权一种晶圆加工系统以及晶圆加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工系统，其特征在于，其包括： 晶圆存储单元，其存储有若干个晶圆盒，晶圆盒内设置有放置晶圆的若干层容置槽； 字符识别设备，其包括用于放置晶圆盒的上下料平台、对晶圆的缺口进行校准的校准单元、对晶圆的字符进行识别的OCR识别单元以及搬运晶圆的第一搬运装置，所述第一搬运装置上设置有用于感知晶圆盒内每一层容置槽上是否放置有晶圆的感知检测件； 第二搬运装置，其在所述晶圆存储单元与所述字符识别设备之间搬运晶圆盒，所述第二搬运装置上设置有识别晶圆盒位置的第一相机； 其中，所述第一搬运装置感知晶圆盒内容置槽上是否放置有晶圆的流程为： 步骤S100、设定所述感知检测件感知晶圆盒内该层容置槽上放置有晶圆时为第一信号、所述感知检测件感知圆盒内该层容置槽上没有放置晶圆时为第二信号； 步骤S200、所述第一搬运装置移动到晶圆盒的一侧取放口处，首先所述感知检测件在第一位置处自下而上扫描第一次，得到第一扫描信号集合；然后所述感知检测件在第二位置处自上而下扫描第二次，得到第二扫描信号集合，所述第一位置与所述第二位置在晶圆圆周方向上对应于两个不同的点位； 步骤S300、将所述第一扫描信号集合与所述第二扫描信号集合进行叠加对比，同一层容置槽上两次扫描结果相对应进行判定，若该层容置槽上两次扫描结果中至少有一个所述第一信号，则判定该层容置槽上放置有晶圆，若该层容置槽上两次扫描结果均为所述第二信号，则判定该层容置槽上没有放置晶圆。

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