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无锡晶名光电科技有限公司程鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡晶名光电科技有限公司申请的专利基于视觉驱动的晶片缺陷自动检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120237064B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510715797.1,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权基于视觉驱动的晶片缺陷自动检测方法及系统是由程鹏;吕长月设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

基于视觉驱动的晶片缺陷自动检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了基于视觉驱动的晶片缺陷自动检测方法及系统,涉及图像数据处理技术领域,通过导入晶片的设计形状数据,加工用于缺陷检测的对接件;将对接件装配于拼接装配机构上与晶片进行边缘拼接,得到拼接件;驱动微距视觉镜头采集拼接件的拼接图像集合;调用缺陷识别模型对拼接图像集合进行缺陷特征识别,返回缺陷检测结果,拼接装配机构分离拼接件后按照缺陷检测结果进行晶片分拣处理。本发明解决了现有技术由于晶片边缘缺陷尺寸微小且视觉对比度低,导致难以有效识别微裂纹、微缺口等轻微边缘缺陷的技术问题,达到了实现高灵敏度、高精度晶片缺陷自动检测识别的技术效果。

本发明授权基于视觉驱动的晶片缺陷自动检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.基于视觉驱动的晶片缺陷自动检测方法,其特征在于,所述方法包括: 导入晶片的设计形状数据,按照所述晶片的设计形状数据加工用于缺陷检测的对接件,基于晶片设计形状数据构建对接件的边缘配合区域,形成具有镜像补偿关系的轮廓模型; 将所述对接件装配于拼接装配机构上,所述拼接装配机构将所述晶片和所述对接件进行边缘拼接,得到拼接件; 驱动微距视觉镜头对所述拼接件进行图像采集,获取拼接图像集合,在拼接件形成稳定之后,微距视觉镜头在控制系统的驱动下对拼接缝隙区域进行逐段或全域成像,得到完整的拼接图像集合; 调用缺陷识别模型对所述拼接图像集合进行缺陷特征识别,向所述对接件返回缺陷检测结果,所述拼接装配机构分离所述拼接件之后按照所述缺陷检测结果对所述晶片进行分拣处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡晶名光电科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-322号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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