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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利半导体工艺设备及其进气装置的校准方法、控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120276402B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510704410.2，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权半导体工艺设备及其进气装置的校准方法、控制装置是由沈康;涂乐义;王兆祥;梁洁;周正;桂智谦设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备及其进气装置的校准方法、控制装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种半导体工艺设备及其进气装置的校准方法、控制装置，该进气装置的校准方法包括：通过带有流量控制器的参考路排气装置输送气体，获得满足工况条件的参数参考值；对调校进气装置输送气体，获得满足所述工况条件的参数调校值；根据参数参考值和参数调校值计算得到参数偏差作为气流量偏差，调节选定的调校进气装置的气体调压阀改变气流量直至使得气流量偏差符合要求，完成调校进气装置的校准。相比于相关技术，该校准方法流程简单，通过气流量偏差校准，能将配置有调节阀的进气装置的气流量等效为配置有流量控制器的进气装置的气流量，从而实现将气体调压阀等效为流量控制器，减少流量控制器的使用量，有效降低成本。

本发明授权半导体工艺设备及其进气装置的校准方法、控制装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备中进气装置的校准方法，其特征在于，所述半导体工艺设备包括工艺腔体、多路进气装置、及排气装置，所述多路进气装置包括一路参考进气装置和至少一路调校进气装置，所述参考进气装置包括参考进气管路、气体源、流量控制器、及参考进气阀组件，每一路调校进气装置包括校准进气管路、气体源、气体调压阀、及调校进气阀组件，所述排气装置包括排气管路和设于排气管路上的排气泵和排气阀组件；所述进气装置的校准方法包括如下步骤： 参考进气装置供气：在工艺腔体置于真空状态的情形下，将所述参考进气装置中的参考进气阀组件打开，利用流量控制器控制气体流量为一基准流量值，使得参考进气装置中的气体源通过参考进气管路向工艺腔体输送气体，获取满足工况条件的参数参考值；其中，在工艺腔体置于真空状态时，所述参考进气装置中的参考进气阀组件和各路调校进气装置中的调校进气阀组件均关闭，且所述排气装置中的排气阀组件为关闭； 调校进气装置供气：在工艺腔体置于真空状态的情形下，将选定的一路调校进气装置中的调校进气阀组件打开，由这一路调校进气装置中的气体源通过调校进气管路向工艺腔体输送气体，获取满足所述工况条件的参数调校值；其中，参数为工艺腔体的腔体压力或输气时间； 气流量偏差计算：根据获取的参数参考值和参数调校值，计算两者的参数偏差，将所述参数偏差作为气流量偏差； 气体调压阀调节，将所述气流量偏差与偏差阈值范围比较，在所述气流量偏差超出偏差阈值范围时，调节这一路调校进气装置中的气体调压阀； 重复执行前述的调校进气装置供气、气流量偏差计算、以及气体调压阀调节的各个步骤，直至所述气流量偏差在偏差阈值范围内，完成这一路调校进气装置的校准。

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