北京博视像元科技有限公司吴丽萍获国家专利权
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龙图腾网获悉北京博视像元科技有限公司申请的专利一种双数字微镜器件的投影系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120215132B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510688973.7,技术领域涉及:G02B27/28;该发明授权一种双数字微镜器件的投影系统是由吴丽萍;杨军超;朱江兵设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双数字微镜器件的投影系统在说明书摘要公布了:本发明公开一种双数字微镜器件的投影系统,涉及半导体视觉技术领域,包括:第一照明组,第二照明组,光路合成组和投影镜头;第一照明组和第二照明组射出的光束经过光路合成组的调制后,生成用于检测PCB的光栅图案,再由投影镜头将生成的光栅图案投影出来,即可得到经PCB高度调制后的变形图案。该系统利用光学方法‑双折射原理确保DMD的投影图像在空间上精确错位半个像素,使投影图像在空间上形成互补。在不改变投影画幅的情况下,投影分辨率和精度提高一倍,从而以低成本低分辨DMD实现高分辨率投影系统。
本发明授权一种双数字微镜器件的投影系统在权利要求书中公布了:1.一种双数字微镜器件的投影系统,其特征在于,包括:第一照明组(1),第二照明组(2),光路合成组(3)和投影镜头(4);第一照明组(1)和第二照明组(2)射出的光束经过光路合成组(3)的调制后,生成用于检测PCB的光栅图案,再由投影镜头(4)将生成的光栅图案投影出来,即可得到经PCB高度调制后的变形图案;第一照明组(1)包括第一光源(11)和第一准直镜头(12),第二照明组(2)中包括第二光源(21)和第二准直镜头(22),光路合成组(3)中设有反射镜(31)、第一DMD(32)、第二DMD(33)和分光片(34);第一光源(11)发出的光束经过第一准直镜头(12)的准直汇聚后打在反射镜(31)上,在反射镜(31)的作用下入射到第一DMD(32);第二光源(21)发出的光束经第二准直镜头(22)汇聚后入射到第二DMD(33);由第一DMD(32)和第二DMD(33)反射的光束经分光片(34)合成后被投影镜头(4)投射到待测的PCB上,其中第一DMD(32)反射的光束为分光片(34)的入射光,经分光片(34)调制后再出射到投影镜头(4),第二DMD(33)则在分光片表面的滤光膜作用下直接反射到投影镜头(4)中;所述分光片(34)采用两片长方形双折射晶体胶合而成,沿水平方向旋转45°放置,第二片晶体的外表面镀有分光膜,用于反射垂直90°方向的光束;分光片(34)的入射光为线偏振光,且偏振方向与晶体光轴成45°,利用晶体的双折射原理,入射光在X方向和Y方向分别错开半个像素,使投影出的图像在空间上形成互补。
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