浙江正金石半导体设备有限公司周小欧获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江正金石半导体设备有限公司申请的专利用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422363058.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备是由周小欧;舒汉泳设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备，包括循环管道、泵、控制器和化学容器，化学容器和泵均设置在循环管道上，化学容器上连接有补气管，循环管道上连接有进液管和出液管，出液管上设置有出液阀，循环管道上设置有浓度传感器，浓度传感器与控制器电连接，浓度传感器包括传感器主体和多通管件，多通管件内设有供液体通过的液体通道，多通管件包括第一接头和第二接头，第一接头连接循环管道，出液管连接在第二接头上，传感器主体连接于多通管件上对液体通道内流过的液体进行浓度检测并传输信号到控制器，控制器连接显示屏，在线检测的浓度传感器可以减少人工在设备的取样以及送样过程中化学液渗漏的问题。
本实用新型用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备在权利要求书中公布了：1.用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备，其特征在于，包括循环管道、泵、控制器和化学容器，化学容器内设有用于容置化学液的容腔，化学容器和泵均设置在循环管道上，泵用于驱动液体在循环管道内循环流动，所述化学容器上连接有补气管，所述循环管道上连接有用于向循环管道内加入液体的进液管和用于供混合后的液体流出的出液管，所述出液管上设置有用于控制出液管启闭的出液阀，所述循环管道上设置有用于检测流动液体的浓度的浓度传感器，浓度传感器与控制器电连接，浓度传感器包括传感器主体和多通管件，多通管件内设有供液体通过的液体通道，多通管件包括第一接头和第二接头，第一接头连接循环管道，出液管连接在第二接头上，所述传感器主体连接于多通管件上对液体通道内流过的液体进行浓度检测并传输信号到控制器，所述控制器连接用于显示数据的显示屏。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江正金石半导体设备有限公司，其通讯地址为：321200 浙江省金华市武义县桐琴镇凤凰山工业区桐塘路9号(武义本能户外用品有限公司内)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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