上海良薇机电工程有限公司高怡聪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223170356U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422343243.7，技术领域涉及：B01D5/00；该实用新型一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统是由高怡聪;纪雪峰设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统，尾气冷凝装置包括进气单元、尾气处理单元、液冷单元、气冷单元和排放单元。其优点在于，利用进气单元将尾气输送至尾气处理单元，并利用气冷单元对液冷单元循环气浴，通过热交换降低液冷单元的温度，进而对尾气处理单元的尾气进行冷凝，冷凝后的尾气经排放单元输送至下一工艺；通过气浴控温，可以实现温度的精确控制；同时气冷单元的气体可以循坏利用，液冷单元设置可循环利用的去离子水，减少浪费和供应中断的风险，本装置结构简单，气冷单元和尾气处理单元相对独立，后期维护和保养简单；并且可以合理控制环境温度，大大提升尾气冷凝效率。
本实用新型一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种尾气冷凝装置，其特征在于，包括： 进气单元，所述进气单元与尾气输送系统连通，用于输送尾气； 尾气处理单元，所述尾气处理单元与所述进气单元连通，用于对尾气进行处理； 液冷单元，所述液冷单元设置于所述尾气处理单元的内部，用于对尾气进行冷凝处理； 气冷单元，所述气冷单元的出气端与所述液冷单元的进气端连通，所述气冷单元的进气端与所述液冷单元的出气端连通，用于向所述液冷单元输送低温气体、从所述液冷单元回收高温气体以及将高温气体冷却为低温气体； 排放单元，所述排放单元分别与所述尾气处理单元、所述气冷单元连通，用于输出经所述尾气处理单元处理后的尾气、所述气冷单元输出的低温气体以及输入所述气冷单元的高温气体。
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