上海良薇机电工程有限公司何强军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223180133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422342943.4，技术领域涉及：G01N27/62；该实用新型一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备是由何强军;纪雪峰设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备，包括混合气体输入单元、浓度分析单元、冷凝单元和检测单元。其优点在于，通过将混合气体输入单元与浓度分析单元连通，采用精度更高、延迟更低的质谱仪对TCS浓度进行检测，提升TCS浓度检测的精度和效果；通过将混合气体输入单元与冷凝单元连通，通过对混合气体进行冷凝称重得到冷凝液体的重量和冷凝气体的总流量，并通过冷凝液体的重量和冷凝气体的总流量计算的到TCS浓度，以对质谱检测元件所检测的结果进行验证，提升检测结果的可靠性。
本实用新型一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种混合气体浓度检测装置，用于检测TCS浓度，其特征在于，包括： 混合气体输入单元，所述混合气体输入单元与混合装置连通，用于获取并输送混合装置产生的混合气体； 浓度分析单元，所述浓度分析单元分别与所述混合气体输入单元、处理装置连通，用于对混合气体进行质谱分析以获得混合气体的第一浓度信息； 冷凝单元，所述冷凝单元分别与所述混合气体输入单元、处理装置连通，用于对混合气体进行冷凝并得到冷凝气体和冷凝液体； 检测单元，所述检测单元设置于所述冷凝单元，用于对冷凝气体和冷凝液体进行测量并计算得到混合气体的第二浓度信息以对所述第一浓度信息进行验证。
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