华侨大学汪坤朴获国家专利权
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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181117U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422326069.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附装置是由汪坤朴;陆静;孙林林;施嘉怡;黄彬彬;江晓鹏设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆吸附装置，包括框体、真空吸盘组件、旋转驱动装置和真空泵，真空吸盘组件包括吸附盘以及托台，托台固定连接在框体顶部，吸附盘转动连接在托台，并与旋转驱动装置的输出端连接，吸附盘底部设有环形槽，使吸附盘与托台之间能够形成环形气道，环形槽内等距排布有若干吸气孔，托台内设有环形槽连通的进气孔，进气孔通过管道与真空泵连通；框体内设有管道支架，管道能够沿管道支架布设，管道支架包括两个平行设置的竖梁，两个竖梁底部连接在框体上，顶部设有横架，竖梁和横架上均设有若干用于固定管路的卡扣。本申请的吸附装置能够对晶圆进行稳定吸附，并驱动晶圆自旋转，并能是内部气路的管道整齐布设，避免发生缠绕。
本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，包括框体、接合于所述框体的真空吸盘组件以及配置在所述框体内的旋转驱动装置和真空泵，其特征在于： 所述真空吸盘组件包括吸附盘以及托台，所述托台固定连接在所述框体顶部，所述吸附盘通过转轴转动连接于所述托台，所述转轴穿过所述框体连接于所述旋转驱动装置的输出端，所述吸附盘底部设有环形槽，使所述吸附盘与所述托台之间能够形成环形气道，所述环形槽内等距排布有若干吸气孔，所述托台内设有至少两个与所述环形槽连通的进气孔，所述进气孔通过管道与所述真空泵连通； 所述框体内设有管道支架，所述管道能够沿管道支架布设，所述管道支架包括两个平行设置的竖梁，两个所述竖梁底部连接在所述框体上，顶部设有横架，通过横架连接在所述框体顶部，所述竖梁和所述横架上均设有若干用于固定管路的卡扣。
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