上海通嘉宏盛半导体设备有限公司张开获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请的专利一种气体控制结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176207U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422323364.5，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种气体控制结构是由张开;季慧;费纲刚;吴杨彬;谢龙飞设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体控制结构在说明书摘要公布了：本公开提供一种气体控制结构，属于半导体技术领域，气体控制结构包括：第一进气管路，所述第一进气管路上设置有第一流量控制结构，用于控制通入所述第一进气管路中的制程气体的流量；第二进气管路，所述第二进气管路上设置有第二流量控制结构，用于控制通入所述第二进气管路中的离子气体的流量；所述第一进气管路的出气口和所述第二进气管路的出气口分别与RPS装置的入口连接。本公开将气路结构拆分为两个单独的进气管路，结构简单，便于维护与检修，有效提高生产效率和生产质量。
本实用新型一种气体控制结构在权利要求书中公布了：1.一种气体控制结构，其特征在于，包括： 第一进气管路，所述第一进气管路上设置有第一流量控制结构，用于控制通入所述第一进气管路中制程气体的流量； 第二进气管路，所述第二进气管路上设置有第二流量控制结构，用于控制通入所述第二进气管路中离子气体的流量； 所述第一进气管路的出气口和所述第二进气管路的出气口分别与RPS装置的入口连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海通嘉宏盛半导体设备有限公司，其通讯地址为：201105 上海市闵行区沪青平公路277号5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励