北京北方华创真空技术有限公司贺傲峰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创真空技术有限公司申请的专利一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223176203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422308460.2,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装是由贺傲峰;王青春设计研发完成,并于2024-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装在说明书摘要公布了:本实用新型涉及气相生长方法技术领域,尤其是涉及一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装,由于现有技术下的支撑方式会在工件表面形成支撑点,支撑点气流无法达到,支撑点周围会有气流不畅的现象,造成工件支撑点附近镀层质量有问题,支撑点无法镀上镀层,需要进行二次沉积,而本申请可以在化学气相沉积过程中使工件旋转起来,当可升降支撑座下降到底部时,由固定支撑座支撑工件,当可升降支撑座升到顶部时,由该组支撑座支撑工件,从而实现了工件在旋转的同时交替切换两组支撑点,保证了支撑点及其附近的沉积效果,解决工件表面一次性全覆盖镀膜的难题。
本实用新型一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装,其特征在于:包括驱动件1,所述驱动件1上设置有升降旋转架2与固定旋转架3,所述升降旋转架2与固定旋转架3均由驱动件1驱动转动,所述升降旋转架2与固定旋转架3上均设置有支座21,所述支座21用于抵接工件,所述升降旋转架2上的支座21长度小于固定旋转架3上的支座21,所述驱动件1上还设置有用于顶起升降旋转架2的顶起件5。
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