航科新世纪科技发展(深圳)有限公司赵广宏获国家专利权
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龙图腾网获悉航科新世纪科技发展(深圳)有限公司申请的专利一种微同轴传输线衬底的剥离方法及微同轴传输线获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119208959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411318084.3,技术领域涉及:H01P11/00;该发明授权一种微同轴传输线衬底的剥离方法及微同轴传输线是由赵广宏;许戎戎设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微同轴传输线衬底的剥离方法及微同轴传输线在说明书摘要公布了:本发明提供了一种微同轴传输线衬底的剥离方法及微同轴传输线,属于微同轴生产技术领域,该剥离方法包括:获取晶圆衬底;其中所述晶圆衬底采用透明材料制成;在晶圆衬底上键合金属片;在金属片上制备微同轴传输线;其中,金属片的金属活动性强于铜的金属活动性;采用激光解键合工艺对晶圆衬底与金属片进行解键合,使得晶圆衬底与金属片分离。该剥离方法操作简便高效,能够在加工完微同轴器件后,便捷地将晶圆衬底与器件的无损分离,保持了器件的完整性和性能;且分离后衬底不会受到破坏,可反复利用,能够节约材料及生产成本。
本发明授权一种微同轴传输线衬底的剥离方法及微同轴传输线在权利要求书中公布了:1.一种微同轴传输线衬底的剥离方法,其特征在于,包括: 获取晶圆衬底;其中所述晶圆衬底采用透明材料制成; 在晶圆衬底上键合金属片; 在金属片上制备微同轴传输线;其中,金属片的金属活动性强于铜的金属活动性; 采用激光解键合工艺对晶圆衬底与金属片进行解键合,使得晶圆衬底与金属片分离。
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