苏州嘉启顺电子科技有限公司张赫之获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州嘉启顺电子科技有限公司申请的专利一种双温区立式氧化镓生长炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176254U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422290554.1，技术领域涉及：C30B23/02；该实用新型一种双温区立式氧化镓生长炉是由张赫之;王尊设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双温区立式氧化镓生长炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双温区立式氧化镓生长炉，涉及半导体材料外延生长设备领域，所述生长炉包括炉体、气体流量控制系统和压强动态控制系统；所述炉体包括炉管、设置在所述炉管上部的上温区、设置在所述炉管下部的下温区和设置在所述炉管中部的高温反应室；所述气体流量控制系统包括多路流量计和分别与所述多路流量计相连接的第一气体和第二气体；所述压强动态控制系统包括真空流量计和通过第二管道与所述炉管相连接的抽真空泵。本实用新型能够有效实现氧化镓快速外延。
本实用新型一种双温区立式氧化镓生长炉在权利要求书中公布了：1.一种双温区立式氧化镓生长炉，其特征在于所述生长炉包括炉体、气体流量控制系统和压强动态控制系统； 所述炉体包括炉管、设置在所述炉管上部的上温区、设置在所述炉管下部的下温区和设置在所述炉管中部的高温反应室； 所述气体流量控制系统包括多路流量计和分别与所述多路流量计相连接的第一气体和第二气体，所述多路流量计通过第一管道与所述炉管上端开口相连通，所述第一管道上安装第一控制阀； 所述压强动态控制系统包括真空流量计和通过第二管道与所述炉管相连接的抽真空泵，所述真空流量计与所述炉管下端开口相连通，所述第二管道上安装第二控制阀。
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