台湾积体电路制造股份有限公司傅建华获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微影系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223180563U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422277425.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型微影系统是由傅建华;许哲彰;何开发;陈立锐设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本微影系统在说明书摘要公布了：一种微影系统包含极紫外光扫描机。清理系统在极紫外光扫描机中，并配置于输送氢气至极紫外光扫描机。泵与该极紫外光扫描机连接，并配置于从极紫外光扫描机移除氢气。第一燃料电池与泵连接，并配置于接收从泵的氢气。电力供应系统与第一燃料电池连接，并配置于接收第一燃料电池产生的电力。
本实用新型微影系统在权利要求书中公布了：1.一种微影系统，其特征在于，包含： 一极紫外光扫描机； 一清理系统，在该极紫外光扫描机中，并配置于输送一氢气至该极紫外光扫描机； 一泵，与该极紫外光扫描机连接，并配置于从该极紫外光扫描机移除该氢气； 一第一燃料电池，与该泵连接，并配置于接收从该泵的该氢气；以及 一电力供应系统，与该第一燃料电池连接，并配置于接收该第一燃料电池产生的一电力。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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