江苏集芯先进材料有限公司谢桂林获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利碳化硅晶圆退火工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181086U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422256470.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型碳化硅晶圆退火工装是由谢桂林;蒋玉娇;黄升元设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶圆退火工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅晶圆退火工装，包括退火坩埚、晶片放置环和定位机构；退火坩埚包括退火坩埚本体和退火坩埚底托，退火坩埚本体下部具有开口，退火坩埚本体罩在退火坩埚底托上，且与退火坩埚底托螺纹连接；退火坩埚底托上表面设置有定位卡槽；定位卡槽内由内向外间隔限定出至少三对定位卡口；定位机构设置在定位卡槽内，其下部对称设置有定位凸起，定位机构通过定位凸起与定位卡口的配合固定在定位卡槽内，定位卡槽内的定位机构共同限定出一个容纳空间；晶片放置环底壁径向向内延伸出环形载台，晶片放置环卡放在容纳空间内。本实用新型便于承载晶圆，能够重复利用，且能够观察到晶片是否叠片，避免晶片损坏。
本实用新型碳化硅晶圆退火工装在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆退火工装，其特征在于，包括 退火坩埚，所述退火坩埚包括退火坩埚本体和退火坩埚底托，所述退火坩埚本体下部具有开口，所述退火坩埚本体罩在所述退火坩埚底托上，且与所述退火坩埚底托螺纹连接；所述退火坩埚底托上表面设置至少三条具有设定深度的定位卡槽，所述定位卡槽的中心线相交于所述退火坩埚底托上表面的中心；每条所述定位卡槽内由内向外间隔限定出至少三对定位卡口，每对所述定位卡口相对设置在所述定位卡槽内侧壁； 定位机构，所述定位机构设置在每条所述定位卡槽内，其下部对称设置有定位凸起，所述定位机构通过所述定位凸起与所述定位卡口的配合固定在所述定位卡槽内，每条所述定位卡槽内的定位机构共同限定出一个容纳空间； 晶片放置环，所述晶片放置环底壁径向向内延伸出用于容纳晶片的环形载台。
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