盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司李伟阳获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181116U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422247827.4，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置是由李伟阳;苏宇;李士昌;田才忠设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置，其属于半导体制造技术领域，其应用于半导体加工设备，其包括增高组件，增高组件包括设于安装平台与静电卡盘之间的上板，上板与静电卡盘可拆卸地连接；半导体加工设备具有整体式腔室主体和设于腔室主体内的安装平台，腔室主体与安装平台为一体结构，安装平台用于承载静电卡盘，整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置。本实用新型通过设置增高组件，增高组件中的上板设在安装平台与静电卡盘之间，并且上板与静电卡盘可拆卸地连接，实现静电卡盘高度可调，从而解决反应腔室内晶圆因所处射频场位置场强度不足导致工艺结果欠佳问题。
本实用新型一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置在权利要求书中公布了：1.一种整体式腔室主体的静电卡盘高度调节装置，其特征在于，其包括增高组件且应用于半导体加工设备，半导体加工设备具有腔室主体和设于腔室主体内的安装平台，所述增高组件包括设于安装平台与静电卡盘之间的上板，上板与静电卡盘可拆卸地连接；上板的数量为多个，多个上板由上至下依次层叠设置。
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