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美埃(中国)环境科技股份有限公司李飞艳获国家专利权

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龙图腾网获悉美埃(中国)环境科技股份有限公司申请的专利一种置顶式高精度温度控制装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223181085U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422188217.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种置顶式高精度温度控制装置是由李飞艳;张润;夏宇;陈玲;叶伟强设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种置顶式高精度温度控制装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种置顶式高精度温度控制装置,包括进水口、出水口、吊装板、外壳体、框架、水盘管、风机、一级加热模块、二级加热模块、均流静压箱体以及高效过滤器;外壳体安装在框架上,形成一个腔体;外壳体上还具有进风口和出风口;吊装板安装在框架上,吊装板上设有吊孔;本实用新型通过安装吊装板,使用时能够将本装置安装放置在半导体检测设备上方,确保本实用新型占地面积小,与半导体检测设备很好对接,为半导体检测设备提供高精度恒温洁净空气。通过水盘管冷却空气,保证空气热交换充分,冷却源噪音小,振动小,满足半导体检测设备的高要求。

本实用新型一种置顶式高精度温度控制装置在权利要求书中公布了:1.一种置顶式高精度温度控制装置,其特征在于:包括进水口、出水口、外壳体、框架、水盘管、风机、一级加热模块、二级加热模块以及均流静压箱体; 所述外壳体安装在框架上,形成一个腔体;所述外壳体上还具有进风口和出风口; 所述进水口和所述出水口安装在所述外壳体上;所述水盘管、风机、一级加热模块、二级加热模块、均流静压箱体安装在所述外壳体内; 所述一级加热模块包括进口和出口;所述一级加热模块的进口连通外壳体上的进水口,一级加热模块的出口连通水盘管进口,水盘管出口连通外壳体上的出水口;所述水盘管的前端与所述进风口相接通,所述水盘管的后端安装所述二级加热模块; 所述风机包括进风端和出风端,所述风机设置在所述二级加热模块的后端,所述进风端输入经过二级加热模块加热的气体,所述出风端接通所述均流静压箱体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人美埃(中国)环境科技股份有限公司,其通讯地址为:210000 江苏省南京市江宁区秣陵街道蓝霞路101号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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