芯铂微半导体设备(上海)有限公司雷旺获国家专利权
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龙图腾网获悉芯铂微半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种稳定型圆晶载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181123U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422170344.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种稳定型圆晶载台是由雷旺;俞方能;张勇;陆斌衫设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种稳定型圆晶载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种稳定型圆晶载台，涉及载台技术领域，包括铁片块，所述铁片块一面设有芯片放置面，且铁片块另一面设有卡合缺口，所述铁片块一侧设置有支架一，且铁片块另一侧设置有支架二。本申请提供一种稳定型圆晶载台，本申请圆晶载台分为上下两层，下沉边缘与安装环组成的圆形边框用于圆晶载台的固定，并进一步通过密封圈与沟槽的配合实现密封形成紧密的载台整体，铁片块一面用于放置芯片，另一面设置有可折叠的支架二及配合其它结构卡合固定的卡合缺口，相较于现有技术依靠扭矩扳手锁紧螺丝的水平度调整方式，本申请通过在铁片块底部设置可折叠的支架二，用于调整圆晶载台的水平位置，保障圆晶载台的平整度。
本实用新型一种稳定型圆晶载台在权利要求书中公布了：1.一种稳定型圆晶载台，包括铁片块1，其特征在于，所述铁片块1一面设有芯片放置面2，且铁片块1另一面设有卡合缺口3，所述铁片块1一侧设置有支架一4，且铁片块1另一侧设置有支架二5。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯铂微半导体设备(上海)有限公司，其通讯地址为：201600 上海市松江区徐塘路168号3幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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