拓荆科技(上海)有限公司张驰获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利气体加热装置、传输系统及半导体器件的加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223179034U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422148662.5,技术领域涉及:F24H3/00;该实用新型气体加热装置、传输系统及半导体器件的加工设备是由张驰;李旭峰;黄明策;杨艳设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体加热装置、传输系统及半导体器件的加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种气体加热装置、气体传输系统,以及半导体器件的加工设备。所述气体加热装置包括:外管,用于为待加热气体提供封闭的传输通道;内管,设于所述外管的内侧,其上设有至少一个沿气体流动方向延伸且大小可调的开口;以及加热结构,设于所述内管的内侧,并与所述内管的内壁保持一通气间隙,其中,所述内管通过调节所述开口的大小来调节所述通气间隙的截面积,从而改变所述气体加热装置的进气口压力和或出气口温度。
本实用新型气体加热装置、传输系统及半导体器件的加工设备在权利要求书中公布了:1.一种气体加热装置,其特征在于,包括: 外管,用于为待加热气体提供封闭的传输通道; 内管,设于所述外管的内侧,其上设有至少一个沿气体流动方向延伸且大小可调的开口;以及 加热结构,设于所述内管的内侧,并与所述内管的内壁保持一通气间隙,其中,所述内管通过调节所述开口的大小来调节所述通气间隙的截面积,从而改变所述气体加热装置的进气口压力和或出气口温度。
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