信利光电股份有限公司张杰获国家专利权
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龙图腾网获悉信利光电股份有限公司申请的专利一种高精度调节曝光光强的曝光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223180562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422112142.9,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种高精度调节曝光光强的曝光机是由张杰;曾一鑫;陈伟龙设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度调节曝光光强的曝光机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高精度调节曝光光强的曝光机,包括:曝光台、曝光组件和滑动组件,所述曝光组件包括光源、镜片组件和滤光片,所述镜片组件包括第一凹面镜、第一平面镜、第二平面镜和第二凹面镜,所述光源设置在所述第一凹面镜的底部,所述光源发射光线依次经由第一凹面镜、第一平面镜、滤光片、第二平面镜和所述第二凹面镜,到达曝光台中的面板进行曝光;所述第二凹面镜通过所述滑动组件在竖直方向上滑动升降,以调节所述第二凹面镜的高度。滑动组件对第二凹面镜的滑动调节与现有技术中的4个螺栓调节对比,滑动组件提高了调节第二凹面镜高度的精度,保证了光强在基板上的均匀性,降低了调节第二凹面镜高度的难度,进而提高了工作效率。
本实用新型一种高精度调节曝光光强的曝光机在权利要求书中公布了:1.一种高精度调节曝光光强的曝光机,其特征在于,包括: 曝光台,所述曝光台用于放置面板; 曝光组件,所述曝光组件包括光源、镜片组件和滤光片,所述镜片组件包括第一凹面镜、第一平面镜、第二平面镜和第二凹面镜,所述第二凹面镜设置在所述曝光台的上方,所述光源设置在所述第一凹面镜的底部,所述光源发射光线依次经由所述第一凹面镜、所述第一平面镜、所述滤光片、所述第二平面镜和所述第二凹面镜,到达所述曝光台中的面板进行曝光; 滑动组件,所述第二凹面镜通过所述滑动组件在竖直方向上滑动升降,以调节所述第二凹面镜的高度。
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