无锡中斯盾科技有限公司丁劲锋获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡中斯盾科技有限公司申请的专利一种用于碳化硅晶片的抛光设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119175639B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411174355.2,技术领域涉及:B24B29/02;该发明授权一种用于碳化硅晶片的抛光设备是由丁劲锋;刘念;莫玲莹;覃发超;华鸣峰设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于碳化硅晶片的抛光设备在说明书摘要公布了:本发明公开的一种用于碳化硅晶片的抛光设备,涉及晶片抛光技术领域,包括抛光机构,抛光机构上安装有配合机构,所述抛光机构包括箱体,箱体上往复滑动安装有滑动架,滑动架上滑动安装有配合滑块,配合滑块上转动安装有吸附组件,触发杆一、触发杆儿分别位于滑动架的两端,触发杆一、触发杆儿与吸附组件配合;本发明通过设置抛光机构对晶片进行初步粗抛,随后进行精抛,实现自动化更换抛光盘,联动性高,提高了工作效率,同时通过配合机构实现自动上料下料,自动化程度高。
本发明授权一种用于碳化硅晶片的抛光设备在权利要求书中公布了:1.一种用于碳化硅晶片的抛光设备,包括抛光机构1,抛光机构1上安装有配合机构2,其特征在于:所述抛光机构1包括箱体101,箱体101上安装有转动方向相同的两个配合齿轮二208,两个配合齿轮二208分别与凸轮二209、凸轮一210同轴固定连接,凸轮二209、凸轮一210上分别设置有一段不完全齿圈,凸轮一210上的不完全齿圈与上料齿轮215配合,凸轮二209上的不完全齿圈与下料齿轮216配合,上料齿轮215、下料齿轮216转动安装在箱体101上,上料齿轮215、下料齿轮216的偏心位置处分别设置有偏心柱一213、偏心柱二218;偏心柱一213与导轨一212滑动连接,导轨一212上安装有触发杆一214,触发杆一214滑动安装在箱体101上,偏心柱二218与导轨二217滑动连接,导轨二217上安装有触发杆儿219,触发杆儿219滑动安装在箱体101上,凸轮二209、凸轮一210与滑动架201配合且位置对应;箱体101上往复滑动安装有滑动架201,滑动架201上滑动安装有配合滑块203,配合滑块203上转动安装有吸附组件,触发杆一214、触发杆儿219分别位于滑动架201的两端,触发杆一214、触发杆儿219与吸附组件配合。
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