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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种外延工艺腔室防火报警系统及外延工艺装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223180694U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422054989.6，技术领域涉及：G08B17/00；该实用新型一种外延工艺腔室防火报警系统及外延工艺装置是由王雪领;曹雷俊设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延工艺腔室防火报警系统及外延工艺装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种外延工艺腔室防火报警系统及外延工艺装置，防火报警系统包括封闭腔体和置于封闭腔体中的外延机台设备和风冷电机，风冷电机驱动叶轮转动，叶轮设置在循环风道中。还包括温度探头、接触器、接触器启停器、温控器、风压传感器和主控器。温控器接收温度探头的温度信号并得到实时温度值。在温控器判断出实时温度值大于等于第一温度阈值时，向接触器启停器发送关闭信号，以控制接触器释放。主控器接收风压传感器的风压信号得到实时风压值，在主控器判断出实时风压值小于风压阈值时，以控制外延机台设备停机。本申请能够监测风冷电机的温度，并在温度过高时及时将风冷电机停机降温，防止电机升温起火燃烧，避免引发严重安全事故。

本实用新型一种外延工艺腔室防火报警系统及外延工艺装置在权利要求书中公布了：1.一种外延工艺腔室防火报警系统，其特征在于，包括封闭腔体1和置于所述封闭腔体1中的外延机台设备和风冷电机2，所述风冷电机2驱动叶轮转动，叶轮设置在循环风道21中； 还包括： 温度探头3，安装在所述风冷电机2的金属外壳上； 接触器4，置于所述封闭腔体1外部，其一端连接交流电源，另一端连接所述风冷电机2； 接触器启停器5，与所述接触器4的线圈连接，用于控制所述接触器4闭合或释放； 温控器6，置于所述封闭腔体1外部，与所述温度探头3和所述接触器启停器5电路连接； 风压传感器7，设置在所述循环风道21内； 主控器8，与所述风压传感器7和所述外延机台设备电路连接； 其中，所述温控器6中设置第一温度阈值，所述温控器6接收所述温度探头3的温度信号并得到实时温度值；在所述温控器6判断出实时温度值大于等于第一温度阈值时，向所述接触器启停器5发送关闭信号，以控制所述接触器4释放； 所述主控器8中设置风压阈值，所述主控器8接收风压传感器7的风压信号得到实时风压值，在所述主控器8判断出实时风压值小于风压阈值时，以控制所述外延机台设备停机。

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