苏州玖钧智能装备有限公司付如荣获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州玖钧智能装备有限公司申请的专利一种硅片清洗用花篮限位抓取机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223181103U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422026948.6,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种硅片清洗用花篮限位抓取机构是由付如荣;吴仁财;乐嘉靖;林梅设计研发完成,并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗用花篮限位抓取机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片清洗用花篮限位抓取机构,包括固定安装在硅片清理设备中的安装架,所述安装架内部贯穿安装有两根升降支架,且所述升降支架底部固定安装有连接板,所述升降支架侧面固定安装有带动其上下滑动的升降齿条,且所述升降齿条侧面啮合连接有与安装架转动安装的升降齿轮,并且所述升降齿轮由安装架外部的步进电机驱动转动,所述连接板下表面左右两侧固定安装有伸缩气缸,且所述伸缩气缸伸缩端固定安装有限位板。该硅片清洗用花篮限位抓取机构,采用新型的结构设计,小型气泵通过输送管道抽出固定吸盘中的空气,使得固定吸盘形成负压,达到对硅片花篮吸附固定的目的,使得抓取过程中保持更好的稳定性。
本实用新型一种硅片清洗用花篮限位抓取机构在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗用花篮限位抓取机构,包括固定安装在硅片清理设备中的安装架(1),所述安装架(1)内部贯穿安装有两根升降支架(2),且所述升降支架(2)底部固定安装有连接板(3),其特征在于,还包括: 所述升降支架(2)侧面固定安装有带动其上下滑动的升降齿条(4),且所述升降齿条(4)侧面啮合连接有与安装架(1)转动安装的升降齿轮(5),并且所述升降齿轮(5)由安装架(1)外部的步进电机(6)驱动转动; 所述连接板(3)下表面左右两侧固定安装有伸缩气缸(7),且所述伸缩气缸(7)伸缩端固定安装有限位板(8),左右两侧限位板(8)之间夹持用于放置硅片的硅片花篮(9); 所述限位板(8)内侧表面设置有用于限制硅片花篮(9)晃动的限位机构,且所述限位板(8)下端对称安装有抓取挂钩(10),所述抓取挂钩(10)与硅片花篮(9)侧面的抓取柱(11)之间相互对应,并且所述抓取挂钩(10)内侧设置有用于改变其间距的调节机构。
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