江苏集芯先进材料有限公司李远田获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223176253U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421869108.X,技术领域涉及:C30B23/00;该实用新型具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置是由李远田设计研发完成,并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置,包括坩埚本体、坩埚盖和气相组分调节组件,所述坩埚本体限定出顶部敞开的容纳腔;所述坩埚盖设于所述坩埚本体的顶端,所述坩埚盖的底部设有籽晶;所述气相组分调节组件设于所述坩埚本体的中部,所述气相组分调节组件用于调节所述坩埚本体内气相组分的输运通道,以维持晶体整个生长阶段的生长速率。根据本实用新型的具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置,能够维持晶体生长过程中逐渐增加的流动气体传输速率,从而增加扩散效率,弥补热场后期因温度衰减造成的生长速率降低的问题,以维持晶体整个生长阶段尤其是中后期生长速率的稳定,增加晶体的有效厚度。
本实用新型具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置在权利要求书中公布了:1.一种具有稳定生长速率的碳化硅晶体生长装置,其特征在于,包括: 坩埚本体,所述坩埚本体限定出顶部敞开的容纳腔; 坩埚盖,所述坩埚盖设于所述坩埚本体的顶端,所述坩埚盖的底部设有籽晶; 气相组分调节组件,所述气相组分调节组件设于所述坩埚本体的中部,所述气相组分调节组件用于调节所述坩埚本体内气相组分的输运通道,以维持晶体整个生长阶段的生长速率。
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