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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118969695B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411021125.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统是由汤晖;廖智燊;朱荣威;魏玉章设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统，涉及半导体检测技术领域。本申请将多个升降机构分别驱动连接于载物板的不同位置，并以压电陶瓷驱动器、底座、输出件及相对的两连接件构成升降机构，底座和输出件相对地设置在两连接件之间，在每个连接件与底座之间及与输出件之间均连接弹性梁，将压电陶瓷驱动器设在底座与输出件之间，通过压电陶瓷驱动器驱动两连接件在水平方向上运动，从而通过弹性梁带动输出件在竖直方向上运动，进而带动载物板与输出件相接的部分在竖直方向上运动，通过控制各升降机构中输出件的位移量，即可实现对载物板上晶圆的调平纠偏。由此，本申请可以实现高精度、高稳定性的调平纠偏操作。

本发明授权一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统在权利要求书中公布了：1.一种纳米级调平纠偏对位装置，其特征在于，包括基座、载物板及多个升降机构，所述基座包括底板和承载台，所述承载台设置于所述底板的中心区域上，所述载物板设置于所述承载台上、且与所述承载台弹性连接，多个所述升降机构环绕所述承载台、且设置于所述底板上，每个所述升降机构均与所述载物板驱动连接，所述载物板上用于放置待检测晶圆； 所述升降机构包括压电陶瓷驱动器、底座、输出件及相对设置的两个连接件，所述底座和所述输出件均位于两个所述连接件之间，所述底座设置于所述底板上，所述输出件与所述底座相对、且设置于所述载物板上，每个所述连接件与所述底座之间及与所述输出件之间均连接有至少一个弹性梁，所述压电陶瓷驱动器位于所述底座与所述输出件之间，所述压电陶瓷驱动器相对的两端分别与两个所述连接件驱动连接；其中，所述压电陶瓷驱动器用于驱动两个所述连接件在水平方向上运动，以通过所述弹性梁带动所述输出件在竖直方向上运动； 所述载物板与所述承载台之间连接有柔性板簧，所述柔性板簧包括环绕所述承载台的多个柔性杆组，每个所述柔性杆组均位于相邻的两个所述升降机构之间，每个所述柔性杆组均包括相对的两个柔性承载杆，所述柔性承载杆的第一端设置于所述承载台上、相对的第二端设置于所述载物板上，同一所述柔性杆组中两个所述柔性承载杆的第二端之间连接有外柔性连接杆，相邻的两个所述柔性杆组中距离最近的两个所述柔性承载杆的第一端之间连接有内柔性连接杆。

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