若名芯半导体科技(苏州)有限公司;若名芯装备(苏州)有限公司余涛获国家专利权
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龙图腾网获悉若名芯半导体科技(苏州)有限公司;若名芯装备(苏州)有限公司申请的专利一种超声波清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181083U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421748250.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种超声波清洗装置是由余涛;崔建举;庞金元设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超声波清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种超声波清洗装置，包括用以装载晶圆后进行旋转的旋转台，固定板可升降的设于旋转台的上方；传导部件设置在固定板的下方，且固定板与传导部件之间构成了容纳腔，传导部件的下表面位于晶圆上方并将晶圆覆盖；传导液循环组件设置在固定板上，并与容纳腔相连；清洗液输入管贯穿设置在固定板和传导部件中，用以将清洗液送至晶圆上后在晶圆上表面形成水膜；超声波发生部设置在容纳腔内；本实用新型中超声波发生部发出的超声波经过传导液及传导部件传导至在晶圆上形成的水膜上后，最后由水膜传递至晶圆的整个上表面，实现对晶圆整面同步进行超声波清洗，这样清洗时晶圆各部位的清洗频率一致，清洗效果和效率佳，结构简单实用。
本实用新型一种超声波清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种超声波清洗装置，其特征在于，包括： 旋转台，用以装载晶圆后进行旋转； 固定板，可升降的设于所述旋转台的上方； 传导部件，设置在所述固定板的下方，且所述固定板与所述传导部件之间构成了容纳腔，所述传导部件的下表面位于晶圆上方并将晶圆覆盖； 传导液循环组件，设置在固定板上，并与所述容纳腔相连，用以实现传导液的循环； 清洗液输入管，贯穿设置在所述固定板和传导部件中，用以将清洗液送至晶圆上后在晶圆上表面形成水膜； 超声波发生部，设置在所述容纳腔内，用以经过传导液和所述传导部件将超声波通过水膜传导至晶圆上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人若名芯半导体科技(苏州)有限公司;若名芯装备(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区4幢101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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