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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆温度调节装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181082U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421720498.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆温度调节装置及半导体设备是由关聪设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆温度调节装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆温度调节装置及半导体设备，通过在半导体设备的热板下方的调节管道，以及分别与所述调节管道的相连通的进液控制机构和进气控制机构；所述进液控制机构，用于向所述调节管道中通入液体介质，以对所述热板上方放置的晶圆的温度进行一次调节；所述进气控制机构，用于向所述调节管道中通入气体介质排出所述调节管道中的液体介质，以利用热板对所述晶圆的温度进行二次调节。先利用进液控制机构向调节管道中通入液体介质对晶圆进行快速降温，使得一次调节后晶圆的温度位于阈值范围内，再利用进气控制机构向调节管道中通入气体介质来排出调节管道中的液体介质，最后利用热板对晶圆的温度进行第二次的微调，从而实现精确控温。

本实用新型一种晶圆温度调节装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆温度调节装置，应用于半导体设备，其特征在于，包括：设置在半导体设备的热板下方的调节管道，以及分别与所述调节管道的相连通的进液控制机构和进气控制机构； 所述进液控制机构，用于向所述调节管道中通入液体介质，以对所述热板上方放置的晶圆的温度进行一次调节； 所述进气控制机构，用于向所述调节管道中通入气体介质排出所述调节管道中的液体介质，以利用热板对所述晶圆的温度进行二次调节； 所述进液控制机构包括进液管道和第一气动阀；所述调节管道的输入端设有第一连接节点；所述进液管道通过所述第一连接节点与所述调节管道相连通；所述第一气动阀设置在所述第一连接节点处，用于控制所述第一连接节点的通断； 所述进气控制机构包括进气管道和第二气动阀；所述调节管道的输入端还设有第二连接节点，且所述第二连接节点位于所述第一连接节点远离所述进液管道的一侧；所述进气管道通过所述第二连接节点与所述调节管道相连通；所述第二气动阀设置在所述进气管道上，用于控制所述进气管道的通断。

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