合肥微睿科技股份有限公司蔡广云获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥微睿科技股份有限公司申请的专利一种CVD用高阻抗冷却管道获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176195U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421709888.1，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种CVD用高阻抗冷却管道是由蔡广云;刘磊;郭利利;顾为飞设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD用高阻抗冷却管道在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD用高阻抗冷却管道，属于蒸镀设备技术领域。本实用新型包括，内管，用于流通介质；外管，套设在所述内管外侧，且所述内管和外管之间具有间隔从而形成流通通道，所述内管和外管之间的间隔处设置隔板将所述流通通道分割为连通的进水侧和出水侧；连接座，用于连接高温端，所述内管和外管的一端均与所述连接座连接，连接座上还设置与进水侧连通的进水口和与出水侧连通的出水口。冷却介质经进水口进入，流向进水侧，经进水侧进入出水侧，再经出水口流出，从而对管道进行冷却。冷却介质的流通通道位于内管和外管之间，冷却介质流经流通通道时，冷却介质紧贴内管的外表面，提高冷却介质与高阻抗管道的贴合度，提高降温效果。
本实用新型一种CVD用高阻抗冷却管道在权利要求书中公布了：1.一种CVD用高阻抗冷却管道，其特征在于：包括， 内管1，用于流通介质； 外管2，套设在所述内管1外侧，且所述内管1和外管2之间具有间隔从而形成流通通道，所述内管1和外管2之间的间隔处设置隔板将所述流通通道分割为连通的进水侧101和出水侧102； 连接座3，用于连接高温端，所述内管1和外管2的一端均与所述连接座3连接，所述连接座3上还设置与所述进水侧101连通的进水口31和与所述出水侧102连通的出水口32。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥微睿科技股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区九顶山路1766号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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