北京科技大学原晓芦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科技大学申请的专利一种金刚石器件互连线的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118983264B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410880418.X，技术领域涉及：H01L21/768；该发明授权一种金刚石器件互连线的制备方法是由原晓芦;黄毅丹;任飞桐;刘金龙;陈良贤;魏俊俊;王文瑞;李成明设计研发完成，并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金刚石器件互连线的制备方法在说明书摘要公布了：一种金刚石器件互连线的制备方法，属于超宽禁带半导体电子器件的加工与制备领域。其特征在于：设计电路版图，清洗金刚石衬底（110）；然后进行光刻工艺，制备器件单元（120）及互连区域（130）；在金刚石表面互连区域镀制金属催化剂（131）；在金刚石表面原位生长导电碳纳米材料（132）作为互连线。本发明在金刚石衬底上获得低阻且稳定的欧姆接触互连线，有效避免目前由超薄金属薄膜形成的互连线断裂后导致器件失效的限制；碳纳米材料互连线可在高温高压的条件下正常工作，能够满足金刚石器件未来工作环境的需求。所得互连线与金刚石衬底的接触电阻低，结合力强，且能耐高温高压工作环境，为未来金刚石基集成电路制备的后端工艺奠定了良好的基础。
本发明授权一种金刚石器件互连线的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种金刚石器件互连线的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1设计电路版图，清洗金刚石衬底110； 2进行光刻工艺，制备器件单元120及互连区域130，互连区域130将多个器件单元120互连，器件单元为晶体管、肖特基二极管、MOS电容、传感器中的一种； 3在金刚石表面互连区域镀制金属催化剂131； 4在金刚石衬底表面原位生长导电碳纳米材料132，形成互连线；导电碳纳米材料为石墨烯或碳纳米管中的一种。
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