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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种晶棒加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223172001U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421488060.8，技术领域涉及：B23D21/00；该实用新型一种晶棒加工装置是由王滔;郑金龙;周铁军;毕宏岩设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶棒加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工的技术领域，公开了一种晶棒加工装置，包括上料承托板和上料滑轨，上料承托板滑动连接与上料滑轨；切割组件包括切割承托板、切割驱动件、切割轮第一滑轨和第二滑轨，第二滑轨的两端分别滑动连接于第一滑轨，切割轮的一端固定于切割驱动件，切割驱动件滑动连接于第二滑轨，切割驱动件的驱动端与切割承托板传动连接；脱管组件包括脱管支架、脱管驱动件、回收机械手、回收承托板和第一回收滑轨，第一回收滑轨、回收机械手以及脱管支架依次布置，脱管驱动件位于脱管支架的一侧，脱管支架设有承托通槽。本实用新型的晶棒加工装置，实现晶棒切割及晶棒取出的全自动加工。

本实用新型一种晶棒加工装置在权利要求书中公布了：1.一种晶棒加工装置，其特征在于：包括上料组件、切割组件和脱管组件，所述上料组件与所述脱管组件位于所述切割组件的同侧； 所述上料组件包括上料承托板和沿第一方向延伸的上料滑轨，所述上料承托板滑动连接与所述上料滑轨； 所述切割组件包括切割承托板、切割驱动件、切割轮、沿所述第一方向延伸的第一滑轨和沿第二方向延伸的第二滑轨，所述第二滑轨的两端分别滑动连接于所述第一滑轨，所述切割轮的一端固定于所述切割驱动件，所述切割轮的另一端位于所述切割承托板的上方，所述切割驱动件滑动连接于所述第二滑轨，所述切割驱动件的驱动端与所述切割承托板传动连接； 所述脱管组件包括脱管支架、脱管驱动件、回收机械手、回收承托板和沿第一方向延伸的第一回收滑轨，所述第一回收滑轨、所述回收机械手以及脱管支架沿第一方向依次布置，所述脱管驱动件位于所述脱管支架的一侧，所述脱管支架设有沿所述第二方向设置的承托通槽，所述脱管驱动件的驱动端的移动方向与所述承托通槽相同，且朝向所述承托通槽设置； 其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

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