国科天骥(山东)新材料有限责任公司许箭获国家专利权
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龙图腾网获悉国科天骥(山东)新材料有限责任公司申请的专利一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118852556B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410825678.7,技术领域涉及:C08G8/04;该发明授权一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层是由许箭;张雪;陈哲;周莹莹;仇艳艳;季恒设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层,所述用于形成底部旋涂碳涂层的组合物包括聚合物,所述聚合物为式A所示的化合物与芳香醛或芳香酮经聚合反应后形成的聚合物:式A中,R1相同或不同,彼此独立地选自羟基、烷氧基、烷基、烯基、‑CHO‑烷基‑O‑烷基、‑C=O‑烷基或缩水甘油基;R2相同或不同,彼此独立地选自氢原子、烷基、烯基或芳基;k相同或不同,彼此独立地为0或1,并且位于式A所示化合物外围的四个连有‑R1k和‑OR2的苯基上至少含有一个羟基。所述底部旋涂碳涂层具有高的热稳定性,对碳氟化合物刻蚀气体具有好的抗蚀刻性并且具有优异的填充性能。
本发明授权一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层在权利要求书中公布了:1.一种聚合物,其为式A所示的化合物与芳香醛或芳香酮经聚合反应后形成的聚合物: 式A中,R1相同或不同,彼此独立地选自羟基、C1-12烷氧基、C1-12烷基、-CHO-C1-12烷基-O-C1-12烷基、-C=O-C1-12烷基或缩水甘油基;R2相同或不同,彼此独立地选自氢原子、C1-12烷基;k相同或不同,彼此独立地为0或1,并且位于式A所示化合物外围的四个连有-R1k和-OR2的苯基上至少含有一个羟基。
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