广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种衬底片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421456865.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种衬底片清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种衬底片清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种衬底片清洗装置，包括用于装清洗液体的水槽、夹具组件、旋转驱动件、升降驱动组件以及支架，所述旋转驱动件与所述夹具组件连接，以驱动所述夹具组件做旋转运动，所述升降驱动组件安装于所述支架，所述升降驱动组件与所述旋转驱动件连接，以使得所述夹具组件悬置于所述水槽中，并带动所述夹具组件做升降运动。本实用新型利用旋转驱动件驱动其旋转，可以使得清洗液在衬底片表面产生均匀的流动，有助于去除表面附着的污物。此外，本实施例通过升降驱动组件调整升降的频率来控制浸泡的时间，满足不同需求的浸泡清洗，增加了清洗的灵活性。
本实用新型一种衬底片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底片清洗装置，其特征在于，包括用于装清洗液体的水槽、夹具组件、旋转驱动件、升降驱动组件以及支架，所述旋转驱动件与所述夹具组件连接，以驱动所述夹具组件做旋转运动，所述升降驱动组件安装于所述支架，所述升降驱动组件与所述旋转驱动件连接，以使得所述夹具组件悬置于所述水槽中，并带动所述夹具组件做升降运动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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