颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司郭振获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆对中装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223181111U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421384584.2,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型晶圆对中装置是由郭振;王小锋设计研发完成,并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆对中装置在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了一种晶圆对中装置,包括用以支撑所述晶圆的两个承载平台,两个所述承载平台间隔设置且对称支撑所述晶圆,两个所述承载平台之间距离大于所述晶圆的半径且小于所述晶圆四分之三的直径;两个承载平台之间预留空间,兼容适用不同造型的取片机械手。
本实用新型晶圆对中装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆对中装置,其特征在于,包括:用以支撑所述晶圆的两个承载平台,两个所述承载平台间隔设置且对称支撑所述晶圆,两个所述承载平台之间距离大于所述晶圆的半径且小于所述晶圆四分之三的直径;所述晶圆对中装置包括两个间隔且呈中心对称设置的对中夹爪、与其中一对中夹爪配合的活动机构;所述活动机构包括设置于所述对中夹爪背离所述晶圆一侧的固定块、设置于所述固定块与对中夹爪之间的弹性件,所述固定块相对所述承载平台静止设置;所述活动机构包括设置于所述固定块与对中夹爪之间的导向柱,所述导向柱的轴线方向与弹性件的变形方向相同。
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