深圳市银度节能科技有限公司徐伯永获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市银度节能科技有限公司申请的专利一种高利用率低成本的平面阴极靶材、磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176185U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421278708.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种高利用率低成本的平面阴极靶材、磁控溅射设备是由徐伯永设计研发完成，并于2024-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高利用率低成本的平面阴极靶材、磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射领域，具体涉及一种高利用率低成本的平面阴极靶材和一种磁控溅射设备。本实用新型提供一种高利用率低成本的平面阴极靶材，包括正面为平面的靶材本体，靶材本体左部、右部比中部薄。还提供一种磁控溅射设备，包括相互间隔且相对设置的阴极和阳极，阴极居下而阳极居上，在阴极处设有基板，在基板上放置有正面朝上对准阳极的平面阴极靶材，平面阴极靶材具体如上所述。平面阴极靶材的浪费较少，利用率较高，生产成本较低。
本实用新型一种高利用率低成本的平面阴极靶材、磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种高利用率低成本的平面阴极靶材，包括正面为平面的靶材本体，其特征在于，靶材本体左部、右部比中部薄； 包括可重复使用的左楔形块和右楔形块，左、右楔形块分别垫于所述靶材本体的左部下方和右部下方； 所述左楔形块和所述右楔形块左右对称设置，两者之间间隔留空摆放，所述靶材本体中部朝下局部伸出形成凸出部，凸出部陷入到左、右楔形块之间的留空处。
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