深圳光峰科技股份有限公司赵家琦获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳光峰科技股份有限公司申请的专利光栅制备设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223180431U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420556845.8,技术领域涉及:G02B5/18;该实用新型光栅制备设备是由赵家琦;苏晓磊;李屹设计研发完成,并于2024-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本光栅制备设备在说明书摘要公布了:本申请涉及衍射光学元器件技术领域,特别涉及一种光栅制备设备,其用于曝光光栅基材以形成光栅,光栅制备设备包括光源模组、承载台以及运动机构;光源模组用于发射第一相干光以及第二相干光;承载台用于承载光栅基材,第一相干光以及第二相干光在光栅基材上发生干涉形成干涉曝光场;运动机构连接于承载台,运动机构包括第一方向运动机构,第一方向运动机构用于驱动承载台沿第一方向在第一位置以及第二位置之间往复运动,第一方向与承载台的法线方向一致。通过上述设置,增加了运动机构沿承载台的法线方向上的往复扫描运动,实现对光栅微结构的平滑作用,可减少第一相干光与第二相干光中的高频误差,从而方便制备低杂散光衍射全息光栅。
本实用新型光栅制备设备在权利要求书中公布了:1.一种光栅制备设备,其特征在于,所述光栅制备设备用于曝光光栅基材以形成光栅,所述光栅制备设备包括: 光源模组,用于发射第一相干光以及第二相干光; 承载台,用于承载所述光栅基材,所述第一相干光以及所述第二相干光在所述光栅基材上发生干涉形成干涉曝光场,以对所述光栅基材进行曝光;以及 运动机构,连接于所述承载台,所述运动机构包括第一方向运动机构,所述第一方向运动机构用于驱动所述承载台沿第一方向在第一位置以及第二位置之间往复运动,所述第一方向与所述承载台的法线方向一致。
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