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龙图腾网获悉新亚新智能科技(南通)有限公司申请的专利一种立体式半导体晶圆自动清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117542754B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311485142.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种立体式半导体晶圆自动清洗机是由贺小华;龙慧梅设计研发完成，并于2023-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种立体式半导体晶圆自动清洗机在说明书摘要公布了：本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种立体式半导体晶圆自动清洗机，包括清洗槽和立式传送带，多个清洗槽活动设置在立式传送带的外表面铰接垂直分布，还包括安装在立式传送带的一侧用于锁紧清洗槽的推动机构、安装在清洗槽上的过滤装置以及防挥发装置。该立体式半导体晶圆自动清洗机，通过设置过滤装置，能够对清洗槽内的清洗液进行过滤后再次使用，减少清洗液更换的次数，防止清洗液清洗多次后影响对晶圆的清洗效果，通过过滤弧板的偏转，能够对清洗液内的杂质进行过滤，使得过滤后的水位于过滤弧板的上方，便于晶圆的清洗，从而减小对晶圆的伤害，解决了清洗槽内的清洗液需要定时更换，造成清洗液的浪费的技术问题。

本发明授权一种立体式半导体晶圆自动清洗机在权利要求书中公布了：1.一种立体式半导体晶圆自动清洗机，其特征在于：包括清洗槽1和立式传送带2，多个所述清洗槽1活动设置在所述立式传送带2的外表面铰接垂直分布，还包括安装在所述立式传送带2的一侧用于锁紧所述清洗槽1的推动机构、安装在所述清洗槽1上的过滤装置以及防挥发装置； 推动机构，所述推动机构包括推动液压缸3以及锁紧块31，所述推动液压缸3插接在所述锁紧块31对所述清洗槽1实现锁定动作； 过滤装置，所述过滤装置设置在位于所述立式传送带2上的所述清洗槽1内部，并对所述清洗槽1内的清洗液进行过滤后再导流至所述清洗槽1的内部，所述过滤装置包括微型水泵4、过滤器41、环形喷管42以及打捞机构，清洗液对晶圆清洗时，所述打捞机构对清洗液中的杂质实现偏转打捞动作后，杂质再经过所述微型水泵4抽吸至所述过滤器41内进行过滤； 防挥发装置，所述防挥发装置包括对所述清洗槽1进行密封的密封片102以及齿环101，所述防挥发装置位于所述清洗槽1的上表面，所述齿环101将多个所述密封片102进行偏转后对所述清洗槽1的上表面进行遮挡密封。

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