中国科学院上海微系统与信息技术研究所秦瑞东获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种体声波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117081537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311115602.7，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种体声波谐振器及其制备方法是由秦瑞东;母志强;俞文杰设计研发完成，并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种体声波谐振器及其制备方法，制备方法包括：于临时衬底设置单晶氮化铝或掺杂氮化铝为压电薄膜；依次设置第一电极层、布拉格反射结构、键合层，键合至键合衬底上；去除临时衬底，设置第二电极层和电引出结构。本发明通过单晶氮化铝的压电薄膜材料选择，提高器件性能；同时设置布拉格反射结构在键合层上，使键合层对谐振器性能影响小，可选用多种键合材料和键合工艺，提高制备过程的可实现性；另外对压电薄膜的减薄，去除质量较差的压电薄膜提高器件性能；最后配合布拉格反射结构和键合工艺制造固态装配型的体声波谐振器，可提高谐振器机械强度，改善衬底的导热性能，减小体声波谐振器因温度造成的谐振频率漂移，实现更高功率密度。
本发明授权一种体声波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括： 提供一临时衬底，于所述临时衬底上设置压电薄膜，所述压电薄膜为不进行掺杂的单晶氮化铝或掺杂钪的单晶氮化铝； 于所述压电薄膜上设置图形化的第一电极层，以显露部分所述压电薄膜，形成包围所述第一电极层边沿的贯通沟道，形成岛状结构，使相邻两个所述体声波谐振器之间形成隔离； 于所述第一电极层上设置布拉格反射结构；设置所述布拉格反射结构的步骤包括：设置低声阻抗层，使所述低声阻抗层覆盖所述第一电极层及所述压电薄膜显露出的表面；继续交替设置多层高声阻抗层和多层低声阻抗层，得到所述布拉格反射结构； 于所述布拉格反射结构上设置键合层； 将所述布拉格反射结构通过所述键合层键合至一键合衬底上； 去除所述临时衬底，显露出所述压电薄膜，对显露出的所述压电薄膜进行减薄； 于减薄后的所述压电薄膜上设置图形化的第二电极层； 设置电引出结构将所述第一电极层和所述第二电极层的电连接引出。
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