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龙图腾网获悉昆山书豪仪器科技有限公司申请的专利一种样品原始膜层结构确定方法、装置、电子设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117092198B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311068748.0，技术领域涉及：G01N27/64；该发明授权一种样品原始膜层结构确定方法、装置、电子设备及介质是由王江涌;徐荣网设计研发完成，并于2023-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种样品原始膜层结构确定方法、装置、电子设备及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种样品原始膜层结构确定方法、装置、电子设备及介质。通过实时获取待检测的未知膜层结构样品和目标实验条件信息，并根据其来确定目标溅射引起的原子混合长度和目标探测仪器的信息深度；通过深度剖析设备，对未知膜层结构样品进行深度剖析处理，得到目标深度谱数据和目标膜层样品表界粗糙度；进一步的，在预先构建的深度分辨率函数库中来确定出目标深度分辨率函数；获取目标元素信号强度和目标元素信号强度最大值来确定出样品原始膜层结构。解决了通过透射电子显微镜来确定膜层原始结构而造成的制备复杂、及时间成本和金钱成本较高的问题，节约了时间和金钱成本，提高了对未知的膜层结构样品对应的样品原始膜层结构确定的准确率。

本发明授权一种样品原始膜层结构确定方法、装置、电子设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种样品原始膜层结构确定方法，其特征在于，包括： 实时获取待检测的未知膜层结构样品，以及获取与所述待检测的未知膜层结构样品对应的目标实验条件信息； 根据所述目标实验条件信息，确定出目标溅射引起的原子混合长度和目标探测仪器的信息深度； 通过深度剖析设备，对所述待检测的未知膜层结构样品进行深度剖析处理，得到与待检测的未知膜层结构样品对应的目标深度谱数据，并根据所述目标深度谱数据来确定出目标膜层样品表界粗糙度； 根据所述目标溅射引起的原子混合长度、目标探测仪器的信息深度和目标膜层样品表界粗糙度，在预先构建的深度分辨率函数库中来确定出目标深度分辨率函数； 获取与所述待检测的未知膜层结构样品对应的目标元素信号强度和目标元素信号强度最大值，并根据所述目标深度分辨率函数，来确定出与所述待检测的未知膜层结构样品对应的样品原始膜层结构； 其中，所述深度分辨率函数库是存储多个所述深度分辨率函数的函数库； 其中，在所述实时获取待检测的未知膜层结构样品，以及获取与所述待检测的未知膜层结构样品对应的目标实验条件信息之前，还包括： 获取多个历史膜层结构样品，以及与各所述历史膜层结构样品分别对应的历史实验条件信息； 通过深度剖析设备，分别对各所述历史膜层结构样品进行深度剖析处理，得到分别与各所述历史膜层结构样品对应的深度谱数据； 分别对各所述深度谱数据和各所述历史实验条件信息通过MRI模型进行定量分析，分别确定出三个畸变因素，并根据各所述畸变因素构建得到分别与各所述历史膜层结构样品对应的深度分辨率函数； 其中，MRI模型是由两个指数函数和一个高斯函数的卷积构成； 将各所述历史膜层结构样品、以及与各所述历史膜层结构样品分别对应的三个畸变因素和深度分辨率函数进行联合存储，构建完成所述深度分辨率函数库； 其中，历史膜层结构样品包括不同膜层厚度的结构样品，根据历史膜层结构样品的膜层厚度来匹配不同的深度分辨率函数； 其中，所述深度分辨率函数包括高深度分辨率函数、中深度分辨率函数以及低深度分辨率函数； 对于高深度分辨率函数的深度剖析通过溅射到第二膜层；对于中深度分辨率函数的深度剖析通过溅射到第三膜层；对于低深度分辨率函数的深度剖析通过溅射到最后膜层； 其中，所述通过深度剖析设备，分别对各所述历史膜层结构样品进行深度剖析处理，得到分别与各所述历史膜层结构样品对应的深度谱数据，包括： 通过深度剖析设备，对每个历史膜层结构样品进行深度剖析处理， 如果确定所述历史膜层结构样品对应的连续两个膜层元素的强度随深度而变化大，则完成深度剖析处理，得到与各所述历史膜层结构样品对应的深度谱数据。

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