上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司孙浩程获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种升降挡圈及同心校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116766046B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310980287.8，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权一种升降挡圈及同心校准方法是由孙浩程设计研发完成，并于2023-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种升降挡圈及同心校准方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种升降挡圈及同心校准方法，属于化学机械研磨技术领域，该升降挡圈，包括：升降挡圈本体和距离检测装置；升降挡圈本体在使用时环绕在研磨盘的外侧；升降挡圈本体上沿周向方向设置有至少三个待测位置；距离检测装置设置在升降挡圈本体上，用于检测各待测位置到研磨盘的边缘的距离是否相等，以根据检测结果判断是否对升降挡圈本体的位置进行调整。本申请在升降挡圈本体上添加距离检测装置，通过距离检测装置检测升降挡圈本体周向方向上的多个待测位置到研磨盘的距离是否相等，来判断升降挡圈是否与研磨盘同心，使升降挡圈具有自动校准与研磨盘同心的功能，提高了升降挡圈与研磨盘同心对中精度，为校准升降挡圈提供了参考。
本发明授权一种升降挡圈及同心校准方法在权利要求书中公布了：1.一种升降挡圈，其特征在于，包括：升降挡圈本体和距离检测装置；所述升降挡圈本体在使用时环绕在研磨盘的外侧； 所述升降挡圈本体上沿周向方向设置有至少三个待测位置；所述距离检测装置设置在所述升降挡圈本体上，用于检测各所述待测位置到研磨盘的边缘的距离是否相等，以根据检测结果判断是否对所述升降挡圈本体的位置进行调整；所述距离检测装置还用于当检测到各所述待测位置到所述研磨盘的边缘的距离相等后，检测各所述待测位置到研磨垫的边缘的距离是否相等，以根据检测结果判断是否对所述研磨垫的位置进行调整；所述研磨垫放置在所述研磨盘上。
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