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龙图腾网获悉上海皓固机械工业有限公司申请的专利一种半导体系统专用带负压调压装器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116518088B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310540161.9，技术领域涉及：F16K1/00；该发明授权一种半导体系统专用带负压调压装器是由王杰;刘海挺;刘家乐;李应涵;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文设计研发完成，并于2023-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体系统专用带负压调压装器在说明书摘要公布了：本申请涉及减压器技术的领域，尤其是涉及一种半导体系统专用带负压调压装器；包括母体、第一连接管、第二连接管、截止组件、施力组件、传递组件以及负压回复组件；截止组件用于关闭或打开气体通道；传递组件与截止组件连接，用于将施力组件的力传递至截止组件；施力组件用于驱使截止组件运动；负压回复组件与截止组件连接，抽真空状态时，负压回复组件用于驱使截止组件运动；当第一连接管与第二连接管的气压相同时，负压回复组件运动，负压回复组件带动截止组件运动，气体通道关闭，此时循环负压状态的运动，逐渐将半导体内的有害气体进行全部抽取，此外抽取过程中不需要人工操作，提高了对半导体加工设备有害气体抽取的效率。

本发明授权一种半导体系统专用带负压调压装器在权利要求书中公布了：1.一种半导体系统专用带负压调压装器，其特征在于：包括母体（1）、第一连接管（2）、第二连接管（3）、截止组件（4）、施力组件（5）、传递组件（6）以及负压回复组件（7）； 所述调压装器分为降压状态以及抽真空状态； 所述母体（1）内设有气体通道（11）； 所述第一连接管（2）设于所述母体（1）上，所述第一连接管（2）与所述母体（1）连通设置，所述第一连接管（2）与所述母体（1）形成进气腔（21），降压状态时，气体经所述第一连接管（2）通入所述气体通道（11）内； 所述第二连接管（3）设于所述母体（1）上，所述第二连接管（3）与所述母体（1）连通设置，所述第二连接管（3）与所述母体（1）形成出气腔（32），其中，所述进气腔（21）、所述气体通道（11）以及所述出气腔（32）连通设置，抽真空状态时，抽气设备与所述第二连接管（3）能够连接； 所述截止组件（4）设于所述气体通道（11）内，所述截止组件（4）用于关闭或打开所述气体通道（11）； 所述传递组件（6）设于所述母体（1）上，所述传递组件（6）与所述截止组件（4）连接，用于将所述施力组件（5）的力传递至所述截止组件（4）； 所述施力组件（5）设于所述母体（1）上，用于驱使所述传递组件（6）运动； 所述负压回复组件（7）与所述截止组件（4）连接，抽真空状态时，所述负压回复组件（7）用于驱使所述截止组件（4）运动； 所述施力组件（5）包括上盖（51）、调节丝杆（52）、调压弹簧（53）、上弹簧钮（54）以及下弹簧钮（55）； 所述负压回复组件（7）包括连接块（71）、弹簧座（72）与波纹弹簧（73）； 所述连接块（71）的一侧与所述上盖（51）连接，并与所述上盖（51）连通设置，另一侧与所述母体（1）连接，并与所述母体（1）连通设置； 所述弹簧座（72）的一侧通过所述波纹弹簧（73）滑动连接于所述连接块（71）内，所述弹簧座（72）的运动方向与所述调节丝杆（52）的运动方向相同，所述波纹弹簧（73）的轴向与所述弹簧座（72）的运动方向相同； 所述下弹簧钮（55）设于所述弹簧座（72）的另一侧。

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