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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利一种钙钛矿太阳能电池的膜层及其制备方法和制备设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116377422B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310360697.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种钙钛矿太阳能电池的膜层及其制备方法和制备设备是由钱斌辉;陶冉;王学雷;邵君;于振瑞设计研发完成，并于2023-04-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钙钛矿太阳能电池的膜层及其制备方法和制备设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种钙钛矿太阳能电池的膜层及其制备方法和制备设备，所述膜层制备设备包括反应腔室和与所述反应腔室连通的抽真空装置，所述反应腔室的内腔底部设置有旋转装置，所述旋转装置的上方空间沿逆时针方向或顺时针方向分为至少两个工作区域；所述至少两个工作区域中，有至少一个工作区域与第一气源通过管路连通，有至少一个工作区域与第二气源通过管路连通。本发明在得到高质量膜层的同时，大大缩短了制备时间，满足了产业化的要求。

本发明授权一种钙钛矿太阳能电池的膜层及其制备方法和制备设备在权利要求书中公布了：1.一种钙钛矿太阳能电池的膜层的制备方法，其特征在于，所述制备方法采用如下膜层制备设备； 所述膜层制备设备包括反应腔室和与所述反应腔室连通的抽真空装置，所述反应腔室的内腔底部设置有旋转装置，所述旋转装置的上方空间沿逆时针方向或顺时针方向分为至少两个工作区域；所述至少两个工作区域中，有至少一个工作区域与第一气源通过管路连通，有至少一个工作区域与第二气源通过管路连通； 所述制备方法包括以下步骤： 1将基片放置于反应腔室内的旋转装置上，通过抽真空装置抽真空； 2将第一气源和第二气源中的源气通入反应腔室中的相应工作区域； 3旋转所述旋转装置，使基片顺时针或逆时针循环经过第一气源连通的工作区域和第二气源连通的工作区域，进行反应，制备所述膜层； 步骤3所述反应包括依次进行的一阶反应、二阶反应和三阶反应，所述一阶反应和所述三阶反应为ALD反应，所述二阶反应为CVD反应； 所述二阶反应的时间小于一阶反应的时间，所述二阶反应的时间小于三阶反应的时间； 所述第一气源传送的物质为第一前驱体，所述第二气源传送的物质为第二前驱体，所述CVD反应指的是第一前驱体发生吸附反应后，惰性气体吹扫，但留有吸附在基片表面的第一前驱体，其未被吹扫成一层原子；与随后吸附的第二前驱体发生反应后，此时剩下一部分未参与反应的第一前驱体、反应产物以及多余的第二前驱体；再惰性气体吹扫多余的第二前驱体，但仍然保留一定厚度的第二前驱体，其未被吹扫成一层原子，此时的产物依次包括第一前驱体、反应产物和第二前驱体。

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