集萃新材料研发有限公司;长三角先进材料研究院张珂获国家专利权
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龙图腾网获悉集萃新材料研发有限公司;长三角先进材料研究院申请的专利一种实现FIB-TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116242867B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310109572.2,技术领域涉及:G01N23/2204;该发明授权一种实现FIB-TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统是由张珂;范国华;曹国剑;罗雪莲;桂江涛;丁浩设计研发完成,并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种实现FIB-TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种实现FIB‑TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统,样品夹具包括样品座和可转动安装在样品座上的半铜网装夹片,样品座与扫描电镜样品台之间可拆卸连接;半铜网装夹片上设置至少一个半圆环槽,用于放置半铜网,每个半圆环槽配有压紧簧片用于对半圆环槽上的半铜网进行夹持固定;在样品座和半铜网装夹片之间设置定位单元,利用定位单元对转动一定角度后的半铜网装夹片位置进行固定。基于该样品夹具,本申请还提出了一种同时实现FIB制样与TKD实验的扫描电镜检测系统,包括TKD实验单元、制样系统等,利用样品夹具调节样品的位置可以快速、高效地制备出满足测试用的平面透射电镜样品,也能完成透射式EBSDTKD实验。
本发明授权一种实现FIB-TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统在权利要求书中公布了:1.一种实现FIB-TKD联用的样品夹具,其特征在于,包括: 样品座(2),所述样品座(2)与扫描电镜样品台(7)之间可拆卸连接; 半铜网装夹片(4),所述半铜网装夹片(4)可转动安装在样品座(2)上;所述半铜网装夹片(4)上设置至少一个半圆环槽(4-1),每个半圆环槽(4-1)配有压紧簧片(4-2);压紧簧片(4-2)的一端为固定端,另一端为自由端且朝向半圆环槽(4-1); 半铜网,所述半铜网用于支撑FIB切取的薄片样品且用于薄片厚度减薄; 定位单元,所述定位单元包括限位凸杆(4-5)和角度通孔(2-2);所述限位凸杆(4-5)设在半铜网装夹片(4)上,在与限位凸杆(4-5)转动轨迹相对的样品座(2)上设置多个角度通孔(2-2); 在压紧簧片(4-2)的固定端与自由端之间的半铜网装夹片(4)上开设凹槽(4-3),在凹槽(4-3)内可滑动放置滑动片(4-4),所述滑动片(4-4)上设置凸部,凸部高于无外力作用时压紧簧片(4-2)的高度; 所述半铜网装夹片(4)的两侧壁分别设置一个转轴,在样品座(2)开设与转轴相应的转轴孔;半铜网装夹片(4)的转轴分别插入转轴孔内。
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