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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种研磨液回收循环装置及其回收循环方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116079595B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310118581.8，技术领域涉及：B24B57/02；该发明授权一种研磨液回收循环装置及其回收循环方法是由邢朝月;张康;王利源;龚承志;王磊设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种研磨液回收循环装置及其回收循环方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种研磨液回收循环装置及其回收循环方法，其中回收循环装置包括集液模块以及工艺模块，集液模块用于回收研磨垫上的研磨液，集液模块设置有集液桶，集液桶的第一出水端通过循环管连通集液桶的第二进水端，循环管上沿其内的液体的流动路径依次设置有第一循环泵和过滤组件；工艺模块用于去除回收的研磨液中过量的去离子水，工艺模块通过第一输送管与集液桶的第二出水端连通，工艺模块的第一出水端连通有用于向研磨垫输送研磨液的供液管。本发明可以有效的避免回收至集液桶内的研磨液中的磨料沉淀团聚成大颗粒，实现在不影响研磨效果的基础上将研磨液有效的进行可持续的回收循环使用的功能，降低研磨成本。

本发明授权一种研磨液回收循环装置及其回收循环方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨液回收循环装置，其特征在于，包括： 集液模块（1），用于回收研磨垫（2）上的研磨液，所述集液模块（1）设置有集液桶（11），所述集液桶（11）的第一出水端通过循环管（12）连通所述集液桶（11）的第二进水端，所述循环管（12）上沿其内的液体的流动路径依次设置有第一循环泵（13）和过滤组件； 工艺模块（3），用于去除回收的研磨液中过量的去离子水，所述工艺模块（3）通过第一输送管（14）与所述集液桶（11）的第二出水端连通，所述工艺模块（3）的第一出水端连通有用于向研磨垫（2）输送研磨液的供液管（31）； 所述集液桶（11）的内侧下端设置有第一下液位传感器（111），所述第一下液位传感器（111）电连接有控制器，所述控制器电连接所述第一循环泵（13）；所述第一输送管（14）上设置有控制其通断的第一电磁阀（15），所述第一电磁阀（15）电连接控制器；所述集液桶（11）的内侧上端设置有第一上液位传感器（16），所述第一上液位传感器（16）电连接所述控制器； 所述工艺模块（3）包括设置在所述第一输送管（14）和所述供液管（31）之间的工艺桶（32）；所述工艺桶（32）的第二出水端通过第二输送管（33）连通有超滤膜过滤组件（4），所述第二输送管（33）上设置有超滤泵（34）；所述超滤膜过滤组件（4）用于去除回收的研磨液中过量的去离子水，所述超滤膜过滤组件（4）的回流端与所述工艺桶（32）连通； 所述工艺桶（32）上设置有用于带动研磨液循环流动的自循环组件；所述工艺桶（32）内沿其高度方向布置有分隔板（321），所述分隔板（321）将所述工艺桶（32）的内部分隔成A腔（322）和B腔（323）；所述A腔（322）与所述第一输送管（14）连通，所述B腔（323）与所述供液管（31）连通；所述自循环组件包括设置在所述A腔（322）内的搅拌组件（351）以及连通所述B腔（323）内部的循环输送管（352），所述循环输送管（352）上设置有第二循环泵（353）； 还包括通过第三输送管（51）与所述工艺模块（3）的进水端连通的补液模块（5），所述补液模块（5）用于调节回收的研磨液的浓度和pH值。

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