河北工业大学王如获国家专利权
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龙图腾网获悉河北工业大学申请的专利一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116179085B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211568712.4，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液是由王如;何彦刚;牛新环;王辰伟;王帅;刘彬;郑涛;董延伟设计研发完成，并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液在说明书摘要公布了：本发明为一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液。该抛光液的组成包括纳米二氧化硅、钽的络合剂、组氨酸、月桂烷基二羟乙基氧化胺、过氧化氢、去离子水；抛光液pH值为8‑10；其中，各组分所占抛光液的质量百分比分比为：3‑6％的纳米二氧化硅、0.01‑1％的组氨酸与月桂烷基二羟乙基氧化胺复配物、0.5‑1％过氧化氢、1‑3％的钽的络合剂；质量比为，组氨酸：月桂烷基二羟乙基氧化胺＝5：1～10：1。本发明可以有效降低晶圆表面张力，消除晶圆的有机沾污，并且绿色环保，简化抛光液的制备工艺。
本发明授权一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液在权利要求书中公布了：1.一种硅通孔钽阻挡层碱性化学机械抛光液，其特征为该抛光液的组成包括纳米二氧化硅、钽的络合剂、组氨酸、月桂烷基二羟乙基氧化胺、过氧化氢、去离子水；抛光液pH值为8-10； 其中，各组分所占抛光液的质量百分比为：3-6%的纳米二氧化硅、0.01-1%的组氨酸与月桂烷基二羟乙基氧化胺复配物、0.5-1%过氧化氢、1-3%的钽的络合剂； 所述的组氨酸与月桂烷基二羟乙基氧化胺复配物质量比为，组氨酸：月桂烷基二羟乙基氧化胺=5：1~10：1； 钽的络合剂为胍类、胍盐、脒类、脒盐、烷基羟肟酸、有机膦酸中的一种或多种； 所述的抛光液还含有分散剂和杀菌剂中的一种或两种；质量百分比为，0.01-0.5%的分散剂、0.01-0.5%的杀菌剂； 所述的分散剂为黄原胶或者羧甲基纤维素；所述的杀菌剂为甲基异噻唑啉酮或1,2-苯并异噻唑啉-3-酮。
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