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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导、方法及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115793141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211561747.5，技术领域涉及：G02B6/122；该发明授权一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导、方法及其应用是由田振男;王映德;孙洪波;陈岐岱设计研发完成，并于2022-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导、方法及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导、方法及其应用，属于激光加工技术领域，本发明采用基于飞秒激光加工技术的形状‑应力的双补偿方案；首先，形状补偿方案是利用柱透镜‑狭缝整形技术使飞秒激光光束在玻璃材料上聚焦成为圆形光斑，从而在康宁玻璃内部制备圆形端面的波导；其次，非对称性应力双折射的补偿方案具体是指在圆波导的水平径向邻域位置额外加工一条修饰线，以补偿加工圆形端面主波导时其内部所产生的非对称性应力；在应力补偿过程中，添加的修饰线几乎不影响圆波导的传输损耗和单模传输等基本特性；最终修饰线与圆形端面主波导组合形成新的波导，新的波导具有超低双折射1*10‑9。

本发明授权一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导、方法及其应用在权利要求书中公布了：1.一种基于飞秒激光直写技术制备的超低双折射玻璃波导，其特征在于，所述超低双折射玻璃波导由康宁玻璃内部的圆形端面的主波导及与其平行的修饰线组成，所述圆形端面的主波导由柱透镜-狭缝光束整形方法制备得到，所述修饰线由聚焦的激光焦点沿平行于主波导主轴方向移动制备得到； 所述超低双折射玻璃波导的双折射量级为1.00*10-9，所述波导的长度为25-100mm；所述波导的圆形端面的直径可根据传输光的波长在6-15μm灵活制备； 其中，所述基于飞秒激光直写技术制备超低双折射玻璃波导通过如下方法制备得到，所述方法具体包括如下步骤： 步骤一：波导形状补偿： 飞秒激光器的出射激光分别经过半波片W1和格兰棱镜GL，正入射到透镜组，透镜组将光斑扩大并平行出射，然后经过反射镜组后反射在定制的狭缝上，穿过狭缝的光束称为整形光束；整形后的光斑入射到物镜OL中，经物镜OL聚焦在样品台上的康宁玻璃内部，形成圆形光斑；调平样品台并控制其移动，使激光聚焦点在康宁玻璃内部移动；利用聚焦的圆形光斑制备出圆形端面的主波导，从而实现对波导形状的控制，减小不对称形状引起的波导双折射；波导制备过程中，采用监控系统对激光写入过程进行监控； 步骤二：波导应力补偿： 在采用整形光束制备出圆形端面主波导后，保持原有光路和光束整形手段不变，使聚焦的激光焦点沿平行于主波导主轴方向移动，加工出一条端面直径小于主波导的修饰线；该修饰线与主波导的空间位置在径向上存在交叠，且二者长度相等，从而保证写入修饰线时产生的应力对主波导内已有的非对称应力进行补偿；最终，交叠的主波导和修饰线组合形成的一根新波导，即为所制备的超低双折射波导； 步骤一所述飞秒激光器发射波长为515-1030nm、重频为1MHz的激光，输出光功率为0.1-5W； 步骤一所述透镜组由第一柱透镜CL1和第二柱透镜CL2组成，所述反射镜组由第一反射镜M1、第二反射镜M2和第三反射镜M3组成，所述飞秒激光器的出射激光分别经过半波片W1和格兰棱镜GL，正入射到第一柱透镜CL1和第二柱透镜CL2，透镜组将光斑扩大1-20倍并平行出射；然后依次经过第一反射镜M1、第二反射镜M2和第三反射镜M3正入射到定制的狭缝上。

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