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龙图腾网获悉江苏润阳悦达光伏科技有限公司申请的专利一种管式变温硼扩散沉积工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288251B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211562108.0，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种管式变温硼扩散沉积工艺是由李学峰;李静;纪欣欣;秦源祥;段高武;胡传红;陶龙忠设计研发完成，并于2022-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种管式变温硼扩散沉积工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种管式变温硼扩散沉积工艺，属于太阳能电池技术领域。该方法采用多步通源沉积工艺和变温推结工艺相结合实现硼扩散过程；具体包括通氮进舟、前氧化处理、多步通源沉积、变温推结、高温氧化、降温氧化、通氮出舟7个步骤，且7个步骤是在不相同的温度条件下完成。在硼扩散过程通过变温的工艺处理，克服了界面区域容易存在扩散不均匀的弊端；同时以多步通源沉积方式，使硼扩散沉积的界面均匀性得到比较好的修复，在优化硼扩散均匀性的同时，提升电池的转换效率。

本发明授权一种管式变温硼扩散沉积工艺在权利要求书中公布了：1.一种管式变温硼扩散沉积工艺，其特征在于，采用多步通源沉积工艺和变温推结工艺相结合实现硼扩散过程，包括以下步骤： （1）通氮进舟，将装好硅片的石英舟放置于碳化硅桨上，送至炉管内，并保证管内是正压状态； （2）前氧化处理，升温至氧化温度，在一定氮气和氧气流量下进行氧化； （3）多步通源沉积； 多步通源沉积工艺为：按照温度860℃，氮气流量3000sccm，氧气流量2000sccm，三氯化硼流量300sccm的条件进行沉积，第一步沉积时间300s；按照温度870℃，氮气流量4000sccm，氧气流量3000sccm，三氯化硼流量200sccm的条件进行沉积，第二步沉积时间240s；按照温度880℃，氮气流量5000sccm，氧气流量4000sccm，三氯化硼流量100sccm的条件进行沉积，第三步沉积时间180s； （4）变温推结； 变温推结工艺为：按照温度930-990℃，氮气流量6000sccm，氧气流量2000sccm的条件进行推结，每300s温度升高10℃，总推结时间2100s； （5）高温氧化，按照温度1040℃，在一定氮气和氧气流量条件下进行氧化； （6）降温氧化，按照温度800℃，在一定氮气和氧气流量条件下进行氧化； （7）通氮出舟，将工艺处理后硅片的石英舟放置于碳化硅桨上，送出炉管，并保证管内是正压状态。

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