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龙图腾网获悉苏州铼铂机电科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光机用抛光头装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115741423B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211480740.0，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种化学机械抛光机用抛光头装置是由谢华伟设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械抛光机用抛光头装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学机械抛光机用抛光头装置，包括固定部和抛光头，固定部包括相互固定连接的连接轴和外壳罩，外壳罩设有下开口腔，下开口腔内设有环状气囊，抛光头与外壳罩为可拆卸连接，抛光头轴向浮动设置于下开口腔内，抛光头包括抛光头本体和弹性金属贴附板，弹性金属贴附板的四周与抛光头本体的下表面密封固定连接，弹性金属贴附板与抛光头本体间构成压力可变腔，抛光头本体设有与压力可变腔连通的气路通道，固定部设有气路接头，气路接头通过连接管与气路通道连接，弹性金属贴附板随压力可变腔内压力变化在上凹至下凸状态之间变化，环状气囊用于向抛光头本体施加下压力。本发明简化气路结构可实现快速拆换适应不同尺寸晶圆的抛光加工。

本发明授权一种化学机械抛光机用抛光头装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，包括固定部和抛光头，所述固定部包括相互固定连接的连接轴和外壳罩，所述外壳罩设有下开口腔，所述下开口腔内设有环状气囊，所述抛光头与所述外壳罩为可拆卸连接，所述抛光头轴向浮动设置于所述下开口腔内，所述抛光头包括抛光头本体和弹性金属贴附板，所述弹性金属贴附板的四周与所述抛光头本体的下表面密封固定连接，所述弹性金属贴附板与所述抛光头本体间构成压力可变腔，所述抛光头本体设有与所述压力可变腔连通的气路通道，所述固定部设有气路接头，所述气路接头通过连接管与所述气路通道连接，所述弹性金属贴附板随所述压力可变腔内压力变化在上凹至下凸状态之间变化，所述环状气囊用于向所述抛光头本体施加下压力；所述抛光头与所述外壳罩间通过销槽结构浮动连接，所述销槽结构包括径向销钉和倒J形槽，所述径向销钉和所述倒J形槽分别设置于所述下开口腔的腔壁和所述抛光头本体的侧壁，所述连接轴伸入所述外壳罩并与所述外壳罩之间形成环形腔，所述环状气囊设置于所述环形腔，所述气路接头设置于所述连接轴的底端。

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