长鑫存储技术有限公司李政获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利原子力显微镜及其探针校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116125102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211476836.X，技术领域涉及：G01Q60/38；该发明授权原子力显微镜及其探针校准方法是由李政设计研发完成，并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子力显微镜及其探针校准方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种原子力显微镜及其探针校准方法，涉及精密测量技术领域，用于解决的原子力显微镜其获取图像出现畸变失真的技术问题。该探针校准方法包括在待测样品的表面设定目标位置O；将探针的尖端移动至初始位置A，且初始位置A位于目标位置O的正上方；控制探针的尖端由初始位置朝向目标位置O移动；获取探针的尖端与待测样品的表面接近时的实际位置O’；获取目标位置O与实际位置O’之间的位移偏差，位移偏差包括偏移量和偏移角度；根据位移偏差对所述探针的尖端的初始位置A进行补偿。本公开提供的探针校准方法，能够对探针的目标位置与实际位置的偏差进行补偿，避免引起待测物体形貌图像畸变失真，能够提升分析效果。
本发明授权原子力显微镜及其探针校准方法在权利要求书中公布了：1.一种探针校准方法，其特征在于，包括以下步骤： 在待测样品的表面设定目标位置O； 将所述探针的尖端移动至初始位置A，且所述初始位置A位于所述目标位置O的正上方； 控制所述探针的尖端由所述初始位置A朝向所述目标位置O移动； 获取所述探针的尖端与待测样品的表面接近时的实际位置O’； 获取所述目标位置O与所述实际位置O’之间的位移偏差，所述位移偏差包括偏移量和偏移角度； 根据所述位移偏差对所述探针的尖端的初始位置A进行补偿。
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