拓荆科技股份有限公司于成辉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种机械手的控制方法、一种机械手和半导体加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115723128B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211435249.6，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权一种机械手的控制方法、一种机械手和半导体加工系统是由于成辉;李慧设计研发完成，并于2022-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械手的控制方法、一种机械手和半导体加工系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种机械手的控制方法、一种机械手和一种半导体加工系统。该控制方法包括以下步骤：控制所述机械手带动其操作端向晶圆托盘移动；获取所述操作端与所述晶圆托盘的位置偏差数据；根据所述位置偏差数据确定纠偏指令，以对所述操作端进行位置纠偏；以及控制所述操作端完成放置晶圆或拾取晶圆的操作。通过执行上述机械手的控制方法的这些步骤，能够对机械手的左右操作端分别或同时进行精确的位置调整，使其准确地对应晶圆托盘的中心，从而对于晶圆放置拾取的位置更为精准，避免后续晶圆处理不均匀，保证了晶圆的处理结果。
本发明授权一种机械手的控制方法、一种机械手和半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种机械手的控制方法，其中，所述机械手至少包括第一操作端和第二操作端，所述控制方法包括以下步骤： 控制所述机械手带动其操作端向晶圆托盘移动； 获取所述第一操作端与第一晶圆托盘的第一位置偏差数据，以及所述第二操作端与第二晶圆托盘的第二位置偏差数据； 根据所述第一位置偏差数据，确定对所述第一操作端的第一纠偏指令，以对所述第一操作端进行位置纠偏；以及 根据所述第一位置偏差数据以及所述第二位置偏差数据，确定对所述第二操作端的第二纠偏指令，以对所述第二操作端进行位置纠偏；以及 控制所述第一操作端和所述第二操作端完成放置晶圆或拾取晶圆的操作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技股份有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号