杭州电子科技大学董林玺获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115574811B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211254502.8，技术领域涉及：G01C21/16；该发明授权一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法是由董林玺;邢运宏;俞挺设计研发完成，并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及惯性传感器技术领域，具体涉及一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法，包括：惯性振动平台，其以多方向自由度运动，方向与惯性振动平台受到电压激励信号而产生的协同弯曲振动相符；PMUT阵列，以预设间隔阵列分布在惯性振动平台底面，与惯性振动平台底面键合，PMUT阵列包括若干个发射子阵列和若干个接收子阵列，发射子阵列和接收子阵列一一对应，发射子阵列及接收子阵列均包括若干个PMUT单管，若干个PMUT单管相互连接组成发射子阵列或接收子阵列。本发明的有益技术效果包括：能够对MEMS惯性振动平台进行运动状态自监测，为MEMS惯性传感器的自校准提供参考，简化自校准实现方法。
本发明授权一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统，用于为MEMS惯性传感器的自校准提供参考，其特征在于，包括： 惯性振动平台，其以多方向自由度运动，所述方向与惯性振动平台受到电压激励信号而产生的协同弯曲振动相符； PMUT阵列，以预设间隔阵列分布在惯性振动平台底面，与惯性振动平台底面键合，所述PMUT阵列包括若干个发射子阵列和若干个接收子阵列，发射子阵列和接收子阵列一一对应，所述发射子阵列及接收子阵列均包括若干个PMUT单管，若干个所述PMUT单管相互连接组成发射子阵列或接收子阵列。
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